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刘彦松, 多新中, 黄继颇, 张苗, 王连卫, 林成鲁. SOI高温器件及其在汽车电子等领域中的应用[J]. 物理, 1999, 28(7).
引用本文: 刘彦松, 多新中, 黄继颇, 张苗, 王连卫, 林成鲁. SOI高温器件及其在汽车电子等领域中的应用[J]. 物理, 1999, 28(7).

SOI高温器件及其在汽车电子等领域中的应用

  • 摘要: 石油钻井、航空航天、汽车等工业领域急需能在高温下工作的器件和电路.SOI(silicon-on-Insulator)技术在高温器件和电路方面有着广泛的应用前景.文章简要介绍了SOI技术应用于制造高温器件和电路方面的进展情况

     

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