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徐毓龙, 周晓华, 徐玉成. 集成电路铜连线技术[J]. 物理, 1999, 28(6).
引用本文: 徐毓龙, 周晓华, 徐玉成. 集成电路铜连线技术[J]. 物理, 1999, 28(6).
shu

集成电路铜连线技术

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  • 摘要: 简要介绍了集成电路铜连线技术及其应用

     

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