集成电路铜连线技术

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集成电路铜连线技术

徐毓龙, 周晓华, 徐玉成

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徐毓龙, 周晓华, 徐玉成. 集成电路铜连线技术[J]. 物理, 1999, 28(6).

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徐毓龙, 周晓华, 徐玉成. 集成电路铜连线技术[J]. 物理, 1999, 28(6).

集成电路铜连线技术

西安电子科技大学,西安710071

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出版历程
- 发布日期: 1999-06-19

西安电子科技大学,西安710071

摘要: 简要介绍了集成电路铜连线技术及其应用
- 铜连线技术．低介电常数介质 /
- ＲＣ时间常数

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