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朱信华, 刘治国. 铁电薄膜、多层膜及异质结构研究[J]. 物理, 1999, 28(2).
引用本文: 朱信华, 刘治国. 铁电薄膜、多层膜及异质结构研究[J]. 物理, 1999, 28(2).

铁电薄膜、多层膜及异质结构研究

  • 摘要: 综述了铁电薄膜、多层膜和异质结构研究的新进展,分析了铁电薄膜不同制备方法的优缺点.重点介绍了铁电薄膜在铁电存储器、微电子机械系统及热释电红外探测器方面的应用.指出了目前铁电薄膜及器件设计研究需要重点解决的一些问题

     

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