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田扬超. 微细加工新方法——LIGA技术[J]. 物理, 1996, 25(2).
引用本文: 田扬超. 微细加工新方法——LIGA技术[J]. 物理, 1996, 25(2).
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微细加工新方法——LIGA技术

    摘要
  • 摘要: 本文介绍了一种微细加工新方法ＬＩＧＡ（ｉｎＧｅｒｍａｎ　ＬＩｔｈｏｇｒａｈｙ，ＧａｌｖａｎｏｆｏｒｍｕｎｇＡｂｆｏｒｍｕｎｇ）技术的基本原理及特点．同时还简单说明了这种方法的技术要求．报道了国内外在这方面开展研究的成果

     

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