“魔镜”方法与晶体缺陷的检测

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“魔镜”方法与晶体缺陷的检测

邓江东, 李增发, 张光寅, 颜彩繁

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邓江东, 李增发, 张光寅, 颜彩繁. “魔镜”方法与晶体缺陷的检测[J]. 物理, 1994, 23(9).

引用本文:

邓江东, 李增发, 张光寅, 颜彩繁. “魔镜”方法与晶体缺陷的检测[J]. 物理, 1994, 23(9).

“魔镜”方法与晶体缺陷的检测

南开大学物理系

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出版历程
- 发布日期: 1994-09-19

南开大学物理系

摘要: “魔镜”技术是我国西汉时期的一项创造发明，由此引发出的“魔镜”检测方法现在已被有效地应用于各种镜状表面缺陷的检测。本文介绍了“魔镜”检测原理以及我们采用激光技术发展起来的一种“魔镜”检测方法，并简要报道了用“魔镜”方法检测硅外延片表面缺陷及晶体内部生长不均匀等缺陷的最新成果。
- 表面缺陷 /
- 无损检测 /
- 魔镜

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