非晶硅半导体及其在传感技术中的应用

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非晶硅半导体及其在传感技术中的应用

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魏光普. 非晶硅半导体及其在传感技术中的应用[J]. 物理, 1993, 22(9).

引用本文:

魏光普. 非晶硅半导体及其在传感技术中的应用[J]. 物理, 1993, 22(9).

摘要: 叙述了非晶硅半导体的结构、制备方法及特性，介绍了非晶硅在制作光电传感器、色敏传咸器、放射线（Ｘ射线等）传感器及应变传感器等方面的应用。并介绍了这些传感器的大致结构、输出特性及有关的应用．

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