准分子激光蒸发──一种新型的镀膜技术

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准分子激光蒸发──一种新型的镀膜技术

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李贻杰. 准分子激光蒸发──一种新型的镀膜技术[J]. 物理, 1993, 22(3).

引用本文:

李贻杰. 准分子激光蒸发──一种新型的镀膜技术[J]. 物理, 1993, 22(3).

摘要: 准分子激光蒸发是一种新型的镀膜技术．它是近几年来在高温超导薄膜的研制过程中发展起来的．本文简要介绍了准分子激光蒸发镀膜技术的基本原理、工艺特点及其生长动力学过程．

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