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张树霖. 多孔硅——一种新形态的硅材料[J]. 物理, 1992, 21(8).
引用本文: 张树霖. 多孔硅——一种新形态的硅材料[J]. 物理, 1992, 21(8).
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多孔硅——一种新形态的硅材料

    摘要
  • 摘要: 多孔硅（ｐｏｒｏｕｓ　Ｓｉｌｉｃｏｎ）是指通过对氢氟酸溶液中的晶体硅片进行阳极氧化，在硅衬底上形成的多孔态的硅材料．本文介绍了多孔硅的形成规律和结构形貌，并对其光学性质和形成机制仆行了简要的评介，最后以多孔硅在大规模集成电路中的应用为主讨论了它的技术应用．

     

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