微波ECR等离子体辅助物理汽相沉积技术
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摘要: 微波电子回旋共振（ＥＣＲ）能够在低气压下产生高密度、高电离度的等离子休．这种等离子体是离子镀最合适的等离子体源，可广泛地应用于等离子体沉积薄膜和表面处理的新工艺，生产高质量的各种金属薄膜、氮化物膜，碳化物膜、氧化物膜、硅化物膜及其他化合物膜．本文着重介绍微波ＥＣＫ等离子体辅助物理汽相沉积（ＥＣＲＰＰＶＤ）技术．
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| 引用本文: |
任兆杏, 盛艳亚, 史义才. 微波ECR等离子体辅助物理汽相沉积技术[J]. 物理, 1990, 19(8).
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