高能离子注入及其应用

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高能离子注入及其应用

林森浩, 王玟珉

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林森浩, 王玟珉. 高能离子注入及其应用[J]. 物理, 1990, 19(6).

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林森浩, 王玟珉. 高能离子注入及其应用[J]. 物理, 1990, 19(6).

高能离子注入及其应用

中国科学院上海原子核研究所

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出版历程
- 发布日期: 1990-06-19

中国科学院上海原子核研究所

摘要: 本文介绍了高能离子（Ｍｅｖ／ａｍｕ）与固体相互作用的特点，综述了近几年来高能离子注入技术在制备多层结构晶体管、减少载流子寿命、材料表面改性及增强薄膜与基体粘着力等方面的研究概况．

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