敏感技术物理及应用专题系列(Ⅱ) 固态传感器
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摘要: 大规模集成电路使人类社会进入了微电子化、自动化和信息化的新时代.这一时代的特点是信息处理能力极强的微型计算机普及应用.相比之下,作为信息采集手段的传感器就显得落后,很不适应.在客观需要的推动下,从70年代后期以来,在全世界范围内出现了发展传感器的热潮,这一热潮的主要特点就是研制各种以固体物性原理为基础的固态传感器(或称为物性型传感器),以与飞速发展的固态微电子技术相适应.这一发展阶段的历史还?...
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