等离子体气相沉积有机硅绝缘钝化膜

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等离子体气相沉积有机硅绝缘钝化膜

周坤粦, 曹伟民, 张吉人

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周坤粦, 曹伟民, 张吉人. 等离子体气相沉积有机硅绝缘钝化膜[J]. 物理, 1990, 19(3).

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周坤粦, 曹伟民, 张吉人. 等离子体气相沉积有机硅绝缘钝化膜[J]. 物理, 1990, 19(3).

等离子体气相沉积有机硅绝缘钝化膜

中国科学院成都有机化学研究所

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- 发布日期: 1990-03-19

中国科学院成都有机化学研究所

摘要: 本文介绍了等离子体气相沉积有机硅绝缘钝化膜的制备、性质和结构。以及在晶体管芯柱中的应用结果、解释了绝缘钝化机理．

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