摘要: 氧化铁薄膜具有很高的极限磁记录密度．然而，单相四氧化三铁薄膜的制备却对工艺条件十分敏感，并且成膜的饱和磁化强度也远低于块状样品．在溅射过程中引入水蒸气、氧气和氩气的混合气体，一方面可以大大拓宽单相四氧化三铁薄膜的制备条件，另一方面也使得饱和磁化强度增加到４５０ｅｍｕ／ｃｍ~３以上．本文对不同的氧化铁薄膜制备方法及磁性等进行了比较．