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王秀琼, 陈本敬, 李华, 刘松元. 甲烷-氢混合气相生长金刚石薄膜[J]. 物理, 1987, 16(10).
引用本文: 王秀琼, 陈本敬, 李华, 刘松元. 甲烷-氢混合气相生长金刚石薄膜[J]. 物理, 1987, 16(10).
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甲烷-氢混合气相生长金刚石薄膜

    摘要
  • 摘要: 目前，金刚石的合成主要是以石墨为原料，采用高温高压法合成金刚石小颗粒．尽管从五十年代起，许多研究工作者以碳氢化合物为原料想在低气压下合成金刚石薄膜．但一直到七十年代初，Ｓ．Ａｉｓｓｅｎｂｅｒａ［１］和Ｃ·Ｗｅｉｓｓｍａ－ｎｅｔｌ［２］等才用离子淀积法生长出了类金刚石薄膜（即膜的大部分为非晶碳结构）．八十年代以来，Ｂ．Ｖ．Ｓｐｉｔｓｙｎ［３］提出的化学输运法，Ｓ．Ｍａｔｓｕｍｏｔｏ［４］提出的?...

     

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