氮化钛(TiN)薄膜的应力测试
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摘要: 镀层的应力状态直接影响着镀层的附着情况与稳定性．当它的应力很大时，放置一段时间，镀层可以自行崩裂、脱落．因此，有必要关心镀层的应力状态．然而，当镀层较薄，结晶又不甚完好时，往往得不到镀层的Ｘ光衍射线，或得不到它的大角度衍射线．这就是利用Ｘ光方法测定薄膜应力时的困难所在．对于厚度约０．２～０．３μｍ的ＴｉＮ离子镀层，在一般衍射仪上测不到Ｘ光衍射线；就是厚达１μｍ多的镀层，也只有２θ角为３６°附?...
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