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郭华聪. 离子注入材料表面改性[J]. 物理, 1986, 15(12): 735-738.
引用本文: 郭华聪. 离子注入材料表面改性[J]. 物理, 1986, 15(12): 735-738.

离子注入材料表面改性

  • 摘要: 离子注入技术在半导体工业中已成为重要的加工技术,离子注入金属材料表面改性也开始走向实用阶段.对这项技术人们又提出了两种新的方法,第一种叫IVD方法(ionandvapourdeposition),第二种叫离子束缝合法(ionbeambonding).这就开拓了离子注入技术的一些新的应用领域,如磁泡材料、光学材料、超导材料和高分子材料等.下面作一简单介绍.一、两种新的离子注入方法1.IVD方法?...

     

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