介质薄膜折射率和厚度的同时测定
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摘要: 椭圆仪在测量介质薄膜和研究表面方面得到了广泛的应用．其主要优点是精度较高，而且是一种非破坏性测量．目前使用椭圆仪时，一般都是给定介质薄膜的折射率，再由椭圆仪的测量值来计算出膜的厚度．但在实际情况中，介质薄膜的折射率往往也是一个待测的参数．所以，如何用椭圆仪来同时测定介质薄膜的折射率和厚度，是一个很有实际意义的问题．一、原理椭圆仪的工作原理和在已知薄膜折射率的情况下如何测定薄膜的厚度，在一些文?...
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