集成电路中的物理问题讲座 第七讲 硅中杂质的物理行为
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摘要: 在化学元素周期表中，已观察到许多元素在硅中能形成电子能级．它们作为硅中的杂质，其物理行为目前只有很少数的几种（例如Ｂ，Ｐ，Ａｓ等）为人们所了解，而对周期表中的绝大多数元素在硅中的物理性质研究得还远远不够．本文根据现有的工作，论述一些杂质在硅中的物理行为．一、Ⅲ族（Ｂ，Ａｌ，Ｇａ）及Ｖ族（Ｐ，Ａｓ，Ｓｂ）元素众所周知，Ⅲ，Ｖ族元素是硅中最重要的杂质．它们在硅中分别是受主和施主杂质，并在硅禁带中?...
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