微离子束技术及其在微细加工中的应用
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摘要: 二十多年前，著名的美国物理学家费曼说过：如果微细加工技术能加工线度８ｎｍ的图形，就可以把二十四卷《大英百科全书》刻在一个针尖上．今天，他的预言正在变成现实，微离子束的束斑直径已达到１０ｎｍ．由于计算机和空间技术的需要，微电子学迅速发展，集成电路的集成度越来越高，目前已制成５１２Ｋ的ＲＯＭ．要求微细加工的线度在亚微米量级（图１）．早在１９５４年，Ｗ，Ｓｈｏｃｋｌｅｙ在提出离子掺杂工艺时就设想用?...
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