新实验技术在材料研究中的应用讲座 第十一讲 Auger谱仪和扫描Auger谱仪在材料研究中的应用
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摘要: 七十年代初发展起来的微区分析新技术──Ａｕｇｅｒ谱仪（ＡＥＳ）及扫描Ａｕｇｅｒ谱仪（ＳＡＭ）在材料研究中的应用愈来愈受到人们的重视．长期以来，Ａｕｇｅｒ效应［１］未能找到实际应用．直至１９５３年才由Ｌａｎｄｅｒ［２］提出了可在超高真空中测量Ａｕｇｅｒ电子，这种电子由于能保持来自表面层的特征能量信息而可用作表面分析．１９６８年，Ｈａｒｒｉｓ［３］用电子能量微分法提高了灵敏度；１９６９年Ｐａｌｍ?...
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