新的光干涉实验——多光束等厚干涉测薄膜厚度
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摘要: 多光束等厚干涉条纹具有干涉条纹锐细的优点，可以大大提高干涉法计量的精确度．目前已经有以下几方面的应用：１．测量厚度在ｌμｍ以下的薄膜厚度；２．检查高级光学平面的质量，研究接近平面的晶体表面和金属表面的形状和特性［１］；３．测量液体的折射率［２］；４．测量μｍ以下的细丝的直径和光学特性（例如人造纤维的直径和折射率）．也已生产了基于本原理的商品仪器．根据科学技术的发展，我们设计了一个实验──用多?...
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