低漏气速率高真空系统的改进
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摘要: 高真空系统充排气台是电真空器件制备和研制气体激光管的重要工艺设备，其真空系统的动态真空要达到２Ｘ１０－５托以上，并要求２Ｘ１０－５托静态真空维持时间越长越好，最低要求要保证有足够的充气时间．但是，目前研制气体激光管充排气台其动态真空比较容易达到１０－６托数量级，而静态真空度维持时间比较短以至影响高质量的气体激光管的研制，其最重要的原因是真空阀门的慢漏气所致．我们为了克服上述的缺点，选用了封闭?...
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