干涉显微镜白光厚度系数的校正
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摘要: ６ＪＡ型干涉显微镜不但是一种测量精密加工表面光洁度的仪器，而且常用于厚度测试．仪器光源为白炽钨丝灯（６Ｖ，５Ｗ），备有绿色干涉滤光片（λ＝０．５３６μｍ，半宽８０Ａ），可分别用单色光和白光进行测量，由公式求得表面的不平深度（或薄膜厚度）ｔ，式中λ为所用光波长，Ｎ为对应条之间相隔的条纹数，其值等于对应条间距与相邻条间距之比．对于单色光，厚度系数是确定的量，因此测试精度较高．但在表面的不平深度较?...
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