摘要: 一、引言微小离子流探测器在质谱学、核物理实验、宇宙科学、表面科学以及真空技术等很多近代科学技术领域里，它都是一个很重要的研究课题．它对这些学科的发展起非常重要的作用．以质谱学为例，目前质谱仪器能分析１０－１０～１０－１８ｇ极微量样品，能测定几十个μｓ的瞬态过程中成分的变化，其主要原因之一，就是因为有了高性能的微小离子流探测器．可以预计，随着科学技术的发展和需要，必将研制山更多的新型高性能的离?...