一台简易的100keV离子注入机
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摘要: 一、引言用离子注入掺杂制造半导体器件的新工艺进入到批量生产的阶段后，半导体器件的生产单位往往需要一些专门生产某种特定类型器件的离子注入装置．对于这样的注入装置，除了要求稳定可靠外，还应当具备结构简单紧凑，操作方便而安全，造价低廉等特点．鉴于这一考虑，我们于１９７０年试制了一台简易的１００ｋｅＶ离子注入机．作为一台简易的离子注入机，其必不可少的部分是：（１）离子源：用以产生注入半导体材料或器件?...
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