国产氩离子枪的研发

基金项目: * 国家自然科学基金(批准号：51207016)、中国博士后科学基金(批准号：2012M521400)资助项目；中国科学院“百人计划”资助项目；辽宁省教育厅“攀登学者”资助项目

Development of domestic Ar ion gun

摘要: 氩离子枪主要由离子源、加速电极、聚焦透镜和控制电源构成，可以产生并发射氩离子束，用于样品的表面清洁处理、表面刻蚀或深度分析，是表面分析和纳米科技装置中的重要构成之一。文章介绍国产氩离子枪的设计原理和测试结果，氩离子的加速电压可达2 kV，在工作距离150 mm和氩气分压为2.0×10^-3 Pa的情况下，可产生4.5 mA的氩离子束流，束斑的直径在10—20 mm之间可调。
- 氩离子 /
- 静电透镜 /
- 离子溅射 /
- 表面科学
Abstract: The ion gun generates Ar ion beams with well defined space and energy distribution.It is composed of ion source, extraction grid, collimator lens structure and electronics controller.It is an important equipment in surface science and nanotechnology, which provides a means to sputter or etch a surface and generates an elemental or chemical depth profile. In this article, a domesticAr ion gun with 2 kVbeam voltage and 4.5 μA beamcurrent is introduced.
- Ar ion /
- electrostatic lens /
- ion sputter /
- surface science

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