透明导电氧化铟锡薄膜的特殊应用

中国物理学会期刊

Chinese Physics Letters Chinese Physics B 物理学报物理中国物理学会期刊网

高级检索

透明导电氧化铟锡薄膜的特殊应用

章壮健, 刘隆鉴

文章导航 > 物理 > 1996 > 25(7)

章壮健, 刘隆鉴. 透明导电氧化铟锡薄膜的特殊应用[J]. 物理, 1996, 25(7).

引用本文:

章壮健, 刘隆鉴. 透明导电氧化铟锡薄膜的特殊应用[J]. 物理, 1996, 25(7).

透明导电氧化铟锡薄膜的特殊应用

章壮健¹,
刘隆鉴²

(1)复旦大学材料科学系,上海200433
(2)四川工业学院物理实验室,成都611744

计量
- 文章访问数: 60
- HTML全文浏览量: 3
- PDF下载量: 1239
出版历程
- 发布日期: 1996-07-19

(1)复旦大学材料科学系,上海200433
(2)四川工业学院物理实验室,成都611744

摘要: 阐述了氧化铟锡（ＩＴＯ）薄膜的气敏特性及其导电扩散阻挡作用，对ＩＴＯ气敏薄膜及扩散阻挡层薄膜的制备过程、测试方法和应用进行了研究讨论．
- ITO薄膜 /
- 气敏特性 /
- 扩散阻挡层 /
- 超导薄膜

参考文献(0)

资源附件(0)

WeChat

点击查看大图

计量

文章访问数: 60
HTML全文浏览量: 3
PDF下载量: 1239
被引次数: 0

/

下载: 全尺寸图片幻灯片

分享

用微信扫码二维码

分享至好友和朋友圈

返回