低能电子显微术及其应用

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低能电子显微术及其应用

蔡群, 董树忠

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蔡群, 董树忠. 低能电子显微术及其应用[J]. 物理, 1996, 25(7).

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蔡群, 董树忠. 低能电子显微术及其应用[J]. 物理, 1996, 25(7).

低能电子显微术及其应用

蔡群,
董树忠

复旦大学应用表面物理国家重点实验室,上海200433

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出版历程
- 发布日期: 1996-07-19

复旦大学应用表面物理国家重点实验室,上海200433

摘要: 低能电子显微术是新发展起来的一种显微探测技术．它的特点是利用低能（１－３０ｅＶ）电子的弹性背散射使表面实空间实时成像，具有高的横向（１５ｎｍ）和纵向（原子级）分辩率，且易与低能电子衍射及其他电子显微术相结合．近年来它已有效地应用于金属和半导体表面的形貌观测、表面相变、吸附、反应和生长过程的研究．
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