用X射线衍射的驻转法测量半导体单晶片
-
摘要: 用Ｘ射线衍射仪进行多晶分析和粉末样品分析是很方便和精确的，但是对于单晶样品的分析则有困难，因为分析单晶样品要用四圆Ｘ射线衍射仪，而目前国内尚无这种商品．为了充分发挥多晶衍射仪的使用效率，做到一机二用，可以运用衍射驻转法对仪器稍加改装．为此，我们设计和试验了简易的单晶测角头，配合衍射仪原来附带的旋转样品架，就能进行单晶片的Ｘ射线分析，例如对已知晶系晶体的点阵常数进行测量，和对晶格缺陷进行分析等?...
-
计量
- 文章访问数: 37
- HTML全文浏览量: 0
- PDF下载量: 8985
下载:
