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刘晨, 刘之景. 光刻与等离子体刻蚀技术[J]. 物理, 1999, 28(7).
引用本文: 刘晨, 刘之景. 光刻与等离子体刻蚀技术[J]. 物理, 1999, 28(7).
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光刻与等离子体刻蚀技术

    摘要
  • 摘要: 介绍了光刻与等离子体刻蚀技术的特点与进展，阐述了等离子体刻蚀的物理机制与前沿问题

     

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