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王豫, 陆冬生, 安承武. 新颖的激光清洗技术[J]. 物理, 1996, 25(9).
引用本文: 王豫, 陆冬生, 安承武. 新颖的激光清洗技术[J]. 物理, 1996, 25(9).
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新颖的激光清洗技术

    摘要
  • 摘要: 利用激光来清除各种器件及材料表面上吸附的各种微粒及污染物，是近年来激光技术应用的一个迅速发展的方向．文章概述了激光清洗技术的最新发展，介绍了激光清洗技术的基本工艺过程及物理机制，讨论了其应用及发展方向等有关问题．

     

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