中国物理学会期刊
Chinese Physics Letters Chinese Physics B 物理学报 物理 中国物理学会期刊网
高级检索
李学丹. 低温等离子体与固体表面的作用[J]. 物理, 1988, 17(8).
引用本文: 李学丹. 低温等离子体与固体表面的作用[J]. 物理, 1988, 17(8).
shu

低温等离子体与固体表面的作用

    摘要
  • 摘要: 低气压下的等离子体属低温等离子体，其特征是电子温度比原子（分子）温度高得多。由于等离子体中各种粒子间以及它们与固体表面间发生的各种物理、化学过程，从而产生等离子体刻蚀、沉积、改质与催化．

     

    • HTML全文
    • 参考文献(0)
    • 相关文章
    • 施引文献
  • 资源附件(0)

/

返回文章
返回