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胡建芳, 洪明苑. 等离子体科学技术应用专题系列介绍——第七讲 低温等离子体及其在材料表面改性中的应用[J]. 物理, 1987, 16(2).
引用本文: 胡建芳, 洪明苑. 等离子体科学技术应用专题系列介绍——第七讲 低温等离子体及其在材料表面改性中的应用[J]. 物理, 1987, 16(2).

等离子体科学技术应用专题系列介绍——第七讲 低温等离子体及其在材料表面改性中的应用

  • 摘要: 一、低温等离子体概述等离子体是一种电离的气态物质,称为物质第四态,宇宙中99.9%的物质都处于等离子体态.它由带电的电子、离子和中性粒子组成.粒子之间不断碰撞发生能量交换,同类粒子之间容易通过碰撞交换能量达到热力学平衡,因而有电子温度Tc,离子温度T1气体温度Ts按照研究的不同目的,等离子体可以作不同的分类.根据温度分为高温等离子体和低温等离子体.当电子温度105-108K时,称为高温等离子?...

     

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