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杜长庚, 陈希成. NbGe超导薄膜的透射电镜样品的制备[J]. 物理, 1982, 11(9).
引用本文: 杜长庚, 陈希成. NbGe超导薄膜的透射电镜样品的制备[J]. 物理, 1982, 11(9).

NbGe超导薄膜的透射电镜样品的制备

  • 摘要: 在白宝石衬底上沉积的NbGe超导薄膜,其超导转变温度可达23K以上.用透射电镜观察其结构是必要的,但样品的制备过程始终存在复杂的工艺问题.到目前为止,除了用离子轰击减薄方法之外,国内外尚无其他方法.我们使用国产LJ-Ⅱ型离子轰击减薄装置的性能样机(见图1)1),参考国内外的有关文献[1,2],探索了这一样品的制备工艺.NbGe超导薄膜由中国科学院物理研究所李林等同志制备[3],其透射电镜样品?...

     

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