摘要: 一、薄膜技术的广泛应用对厚度测量提出的新要求薄膜技术在近代科学技术中应用很广．在光学部件和仪器中，薄膜的使用是很重要的；特别是在激光技术中，薄膜技术更发展成为制造光学谐振腔等的重要工艺．在电子器件、金属材料表面保护、摄影、彩色电视、化纤材料、标准计量、物化分析等许多方面，薄膜都得到愈来愈多的应用．在物理、化学、天文、生物学、医药学等学科中，薄膜技术也是一种有用的研究手段．对于半导体器件和集成?...